十萬級(jí)無塵車間的監(jiān)測
1、無塵車間系統(tǒng)的監(jiān)測主要是過濾器的更換周期,還有無塵車間對環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴(yán)格的規(guī)定,保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和人員工作環(huán)境的舒適。
2、整個(gè)無塵車間系統(tǒng)配有一套采用初效、中效、過濾器的三級(jí)空氣凈化系統(tǒng),控制潔凈區(qū)內(nèi)塵粒數(shù)等。作為末端過濾裝置過濾器決定著整個(gè)凈化系統(tǒng)的運(yùn)行效果,無塵車間裝修因此對于過濾器的更換時(shí)間是非常重要的。
3、在無塵車間的裝修里,無論是安裝在凈化空調(diào)機(jī)組末端的大風(fēng)量空氣過濾器還是安裝在送風(fēng)口的空氣過濾器,這些必需要有準(zhǔn)確性的運(yùn)行時(shí)間記錄和潔凈度及風(fēng)量作為更換依據(jù),如在常態(tài)的使用情況下,過濾器的使用壽命可以長達(dá)一年以上。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
潔凈室的分類方法許多,但很多的分類方法是按潔凈室的應(yīng)用特性和潔凈室的氣流流型來分。 1. 按潔凈室的應(yīng)用特性區(qū)劃為:①工業(yè)生產(chǎn)潔凈室。比如電子工業(yè)、中國機(jī)械、化工廠工業(yè)生產(chǎn)等用的潔凈室。②微生物潔凈室。比如生物醫(yī)1藥、食品類、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)喂養(yǎng),清潔手術(shù)室等。③微生物安全實(shí)驗(yàn)室??茖W(xué)研究不微生物菌1種的潔凈室。 2. 按潔凈室的氣流流型區(qū)劃為:①單向流潔凈室(豎直單向流和水準(zhǔn)單向流)。②非單向流潔凈室③混和流潔凈室(即單向流和非單向流組成氣流組成的潔凈室。④矢流潔凈室(放1射性流、頂角流)。